產品資訊
0.95%F2/1.25%Kr/Ne ( KrF) 準分子雷射混和氣
晶呈深入所熟悉的半導體產業原物料市場進行分析，發現特殊氣體是半導體等電子產業關鍵原物料之一，因此，投入大量資源，開發出特殊氣體關鍵精餾技術。在進行技術開發時，將研發人員分成流體力學、熱場、自動化、微量分析等小組，終於成功將乾式化學品精餾技術應用在特殊氣體製造，並獨創三切式(3-Cut)精餾設計，產出超高純度特殊氣體，應用於半導體先進製程。晶呈目前更是全球少數擁有特殊氣體合成、純化、混氣、超高純度轉充填、微量分析、特殊部件設計組裝全製程六段製造技術! 有了成功經驗，晶呈將持續開發更多特殊氣體項目精餾技術，實現技術自主，產品多元化目標!